随着张潇的讲解,胡杨饶有兴致看着眼前的这台投影步进式光刻机。
这一刻,对于国内半导体行业的所有人来说,都具有里程碑式的意义。这也就意味着,国产高端光刻机实现了零的突破,虽然和国外光刻机的技术差距依然很大,但已经让人看到了希望的曙光。
“张董,你们下一步的打算是什么?”
胡杨平复了一下有些激动的心情,转头看向张潇。
“我们下一步的工作是,一方面将光刻机的研发继续向前推进,力争早日攻克90纳米光刻机并实现量产。另一方面,我们要开始研究浸没式光刻机的有关技术,希望五年之内能有所突破吧。”
目前,微电子设备最新研发的110纳米光刻机,尚未实现量产。张潇打算继续完善设计和制造,为下一步90纳米光刻机的量产打下坚实的基础。
至于浸没式光刻机的技术,那是后话了,要等到攻克了90纳米、65纳米光刻机以后,才会有实际意义,所以暂时还不用太着急。
“张董,没想到你们的进展这么快!说实话,我今天看到了这台110纳米光刻机的样机,让我对于国产高端光刻设备充满了信心。接下来公司如果在资金方面有困难,我绝对会大力支持的。”
技术的事情胡杨帮不上忙,但他能资金的帮助。如果微电子设备向高科创投基金递交申请,多了不敢说,100亿元以内的资金还是没问题的。
“哈哈,就等你这句话了。走,咱们再去别的地方转转。”
张潇见自己的目的达到了,心情大好之余也不废话,继续带着胡杨等人在公司考察。